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概要
它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大於(yu) 0.1SCCM的微小流量控製。並且，利用SEC-623可以進行小於(yu) 200SLM的大流量控製。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控製。
特征
- 可對應±0.5％F.S.：SEC-405(氣體種類限定)
- 同係列產品，從0.1CCM至200SLM(N2)都可進行流量控製
- 實現麵間距離106mm: SEC-300型式
規格
| SEC-310 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開； NC: 非通電時：關(guan) 閉 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
| 流量控製範圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-320 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
| 流量控製範圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-405 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8 |
| 流量控製範圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±0.5％ F.S.(滿量程) |
| SEC-410 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guan) 閉 |
| 標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-510 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guan) 閉 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-510A | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guan) 閉 |
| 標準流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-520A | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-551 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guan) 閉 |
| 標準流量量程 | 30/50/100 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-552 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、バイトン |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 30/50/100 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-610 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 50/100/150 SLM |
| 流量控製範圍 | 10?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-620 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 50/100/150 SLM |
| 流量控製範圍 | 10?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-623 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 150/200 SLM (H2:300 SLM) |
| 流量控製範圍 | 10?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-400MK2 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-500MK2 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-400MK3 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-500MK3 | |
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控製範圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
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