您的位置：
規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控製器, 適用於(yu) 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控製器, 適用於(yu) 200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質量流量控製器, 適用於(yu) 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質量流量控製器, 適用於(yu) 200slm N2 標稱流量.
概要
質量流量計是半導體(ti) 製造設備中非常關(guan) 鍵的零部件。它的工作穩定與(yu) 否往往成為(wei) 半導體(ti) 製程成敗的關(guan) 鍵因素。
HORIBA STEC, 作為(wei) 範圍內(nei) *超過35%*1的流量計生產(chan) 商, 長期以來始終如一的為(wei) 半導體(ti) 工業(ye) 提供高質量、多功能的產(chan) 品。現在，手攜全新的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控製器： Z500係列。
相對於(yu) 舊有的型號，Z500X 係列實現了全新的突破， 而且注定將改變流量控製技術的未來。在提供客戶所需流量控製的所有功能的同時, 實現了複合氣體(ti) 、複合流量的轉換。客戶可以根據製程需要，輕鬆地更改流量計氣體(ti) 種類和量程*2。
此外，藉由產(chan) 品材料的技術革新， Z500係列全麵滿足了 RoHS 綠色產(chan) 品的設計要求，為(wei) 客戶提升產(chan) 品價(jia) 值。
高性能的Z500係列流量計，將帶給您更多驚喜。正見證著這一即將改變整個(ge) 半導體(ti) 工業(ye) 的新型質量流量計的誕生。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 複合氣體(ti) 、複合流量功能。
特征
- 高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術保證在各控製範圍內獲得高的控製精度. 為了改善各種實際氣體種類的控製精度， HORIBA STEC研發了標準的氣體測量係統， 並在大量實驗的基礎上，采集各種製程氣體的校準數據。 - 高速響應
SEC-Z500X 使用了開發的“可更改PID”係統，保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鍾之內完成在設定不同流量時，PID數據將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量範圍變更後，PID數據也能夠自動優化，實現高速響應。 - 複合氣體、複合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕鬆地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從係統拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數量，同時節省了時間和成本。
- 上一篇：FC-D980 質量流量控製器
- 下一篇：SEC-E50質量流量控製器
在線交流
谘詢電話