
概要
基於(yu) 多年來技術產(chan) 品的市場發展經驗,我們(men) 提供了一係列滿足客戶需求的質量流量計產(chan) 品。
氣體(ti) 被廣泛地運用於(yu) 各種工業(ye) 領域,從(cong) 太陽能電池、燃料電池的研究和製造,這一獲得巨大關(guan) 注的再生能源項目得到了各地的支持;到半導體(ti) 、液晶麵板和在電子行業(ye) 中使用的發光二極管(LED)的研究和製造。在這些製造工藝中,對各種氣體(ti) 的流量進行準確的測量和控製顯著地提高了工作效率,進而節約了能源和提高了生產(chan) 力。HORIBA STEC致力於(yu) 質量流量計的發展,為(wei) 的製造工藝,包括半導體(ti) 、光電和LED的製造提供服務,並將繼續開發新的產(chan) 品來滿足客戶的需求。
型號
10sccm | 10SLM | 20SLM | 100SLM | 200SLM |
SEC-N102 | SEC-N112 | SEC-N122 | SEC-N132 | SEC-N142 |
SEC-N104 | SEC-N114 | SEC-N124 | SEC-N134 | SEC-N144 |
SEC-N106 | SEC-N116 | SEC-N126 | SEC-N136 | SEC-N146 |
特征
HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產品。
型號 | 選擇信號傳(chuan) 輸模式 | 選擇電源 |
SEC-N102 係列 | 數字式信號傳(chuan) 輸 ?RS485 F-NET協議 模擬式信號傳(chuan) 輸 ?0~5VDC | ±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE係列的電源產(chan) 品。 |
SEC-N104 係列 | DeviceNet 信號傳(chuan) 輸 | 遵照ODVA標準 |
SEC-N106 係列 | PROFIBUS 信號傳(chuan) 輸 模擬式信號傳(chuan) 輸 ?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA | 遵照PROFIBUS標準 |
此型號適合各種小流量到大流量的需要。
流量控製範圍為(wei) 標定滿量程的2~99%
高精度
■高精度(設定點為(wei) 基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償(chang) 。這幫助實現了對所有流量控製範圍的高精度控製。為(wei) 了實際氣體(ti) 流量的準確性進一步提高,各種工藝氣體(ti) 的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體(ti) 測量係統進行校驗。
整個流量控製範圍內都可實現高響應速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 係列搭載了開發的“可變PID係統”,對於(yu) 所有設置點它可以實現1秒內(nei) 的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體(ti) 種類時,可變PID將根據當下的設定點不斷變化,其PID參數也將隨之被優(you) 化。
多氣體、多量程的解決方案
■專(zhuan) 用的軟件賦予用戶可以自由更改規格的能力 的多氣體(ti) 、多量程係統使用戶自由變更氣體(ti) 種類和量程成為(wei) 可能。
致力於成本考量,運用新的設計概念
作為(wei) N100係列的替代,HORIBA STEC也可以提供具備超潔淨處理以及壓電陶瓷閥門的Z500係列產(chan) 品。請注意,在沒有通知的情況下,可能會(hui) 對某些需要提高生產(chan) 率的部件和產(chan) 品工藝做出修改,但不會(hui) 牽涉到改變產(chan) 品的規格。
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