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HORIBA質量流量控製器
簡要描述:概要SEC-8000F/D係列,可以在高溫環境下工作,實現超潔淨狀況下百萬(wan) 分之一級別的超小流量的分析與(yu) 控製,能夠滿足複雜多變的半導體(ti) 製程需求
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