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概要
作為提高生產的必要因素、製造設備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關注。這些要求對氣體供給係統，也就是被稱為關鍵設備的質量流量控製器來說有很緊密的聯係。而批量使用搭載了在成本表現方麵優勢明顯的電磁閥的質量流量控製器，則可*符合製程要求。
特征
- 采用金屬避風墊圈
可對應腐蝕性氣體
- 搭載異常報警功能
警報輸出功能為其標準搭載
規格
?SEC-E400J
| 氣體(ti) 連接部材質 | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不鏽鋼材質閥形式 | 非通電時:閉標準 |
| 流量範圍 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM |
| 流量控製範圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
?SEC-E450J
| 氣體(ti) 連接部材質 | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不鏽鋼材質閥形式 | 非通電時:閉標準 |
| 流量範圍 | 20/30 SLM |
| 流量控製範圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
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