HORIBA流量計AMAT3030-17596

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產品型號：2203
廠商性質：經銷商
更新時間：2025-03-24
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詳情介紹

AMAT3030-17596

Cryo-Plex 16 低溫泵

考慮全麵的高效設計，使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實現兩(liang) 倍於(yu) 8寸低溫泵的抽速，是理想的潔淨、無油高真空排氣方案。

標準應用：半導體(ti) 、空間環境模擬、真空鍍膜以及各種研發領域

配置靈活

支持ANSI、ISO、CF等多種法蘭(lan) 接口

用一台M600氦氣壓縮機可以同時驅動單台或者兩(liang) 台Cryo-Plex10 低溫泵，從(cong) 而節省空間、電能和維護工作。對於(yu) 需要多台低溫泵的大型真空室，是非常理想的選擇。

標準設計

Austin Scientific的Cryo-Plex 係列低溫泵、壓縮機可以與(yu) Helix品牌的CryoTorr係列低溫泵、壓縮機相互兼容和替換，從(cong) 而大大方便使升級、維修、交換等服務。

參數

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	最寬的流量和壓力適用範圍長期穩定性保障設備使用價(jia) 值包括經認證適用於(yu) 危險區域的產(chan) 品可清洗/衝(chong) 洗的設備外殼流體類型氣體流量範圍-滿量程容量 3 sccm - 2500 lpm 精度 ± 0.6% of SP 最大壓力 4500 psig 溫度 65oC 輸出類型 Analog & Digital 金屬密封熱適用於(yu) 對濕度或氧氣敏感的過程高純度流路可最大限度降低過程汙染，提高產(chan) 率超快速響應能力流體類型氣體流量範圍-滿量程容量 3 sccm - 300 slpm 精度 SP ±1% 最大壓力 150 psig 溫度 50oC 輸出類型 Analog & Digital 高溫熱最高工作溫度高精度和可重複性超高純度結構流體類型氣體 , 水汽流量範圍-滿量程容量 3 sccm - 10 slm 精度 SP ±1% 最大壓力 145 psig 溫度 105oC 輸出類型 Analog & Digital 科裏奧利超低流量過程可達到的最高精度內(nei) 置式液體(ti) 密度計同時適用於(yu) 液體(ti) 和氣體(ti) 應用的設備流體類型氣體, 液體流量範圍-滿量程容量 10 - 27,000 gram/hr 精度 0.2% - 0.5% of Rate 最大壓力 4500 psi 溫度 65oC 輸出類型 Analog & Digital 60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

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