
MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 新18luckAMAT氣體(ti) 流量計0190-51152
Granville-Phillips 隔膜規390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N:390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
UFC-8165 流量計flowmeter
mks385620-4-GE-T-00049 新18luck 356005-YE-T 傳(chuan) 感器
全新lam metal VODM 料號:796-055344-005MKS傳(chuan) 感器51B13TCA2BA990/51C13TCA2BA990
等離子注入機刻蝕VAT閥門08138-FA24-0001
<span font-size:14px;"="">TC6MVCR是AMAT 3310-01071、Teledyne Hastings DV-6-VCR和Brooks 8112105熱電偶儀(yi) 表
AMAT新18luck1350-00681美國MKS流量計的詳細信息MKS新18luck355400-0-TD-T氣體流量控製器
HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液質流量計
MKS MODE:1179A00452CR1BV新18luck 流量計美國 日本
● 壓力測量範圍在10ˉ5Torr 到大氣壓,大於(yu) 普通的皮拉尼新18luck2個(ge) 測量等級
● 3個(ge) 用於(yu) 工藝控製的中繼點(選擇性)
● 超的設計
● 為(wei) 工藝控製提供高的測量精度
● 模擬的輸出和數字通訊(RS232或RS485)提供了簡便的操作
● 可以抵禦大氣衝(chong) 擊和振動
● 可以方便地安裝於(yu) 任何方向,沒有任何測量精度的損失
● 可以替代任何供應商的新18luck和設施的升級
● 符合歐洲CE,EMC標誌
MKS925新18luck可以使用於(yu) 半導體(ti) 工業(ye) 的分析和鍍膜工藝上的測量。
● 一般的真空壓力測量
● 前極管路和低真空的測量
● 氣體(ti) 的充填測量和控製
● 質譜儀(yi) 器的控製
● 新18luck的啟動
● 工藝係統的控製
● 控製係統的壓力
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sell Exchang Repair
Description注入機 FILAMENT P.S電源
Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration information:
1.Configured for 8'' wafer
2.automatic wafer handling
3.Cl2 based etching process
4.3 process modules
5.Inspected by SPTS OEM engineer
6.Missing 1x Mag7 robot
7.Missing 1x VCE B controller
8.Missing 1x 24V DC Power supply
bbbEDYNE傳(chuan) 感器DV-6VCR真空壓力器