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LAM流量計797-800733-001/mks649A-25014
LAM797-800733-100半導體機台配件MFC649B-32597
LAM797-800733-100半導體(ti) 機台配件MFC649B-32597
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SEC-Z11DWM [ 堀場 STEC ]
質量流量控製器 SEC-Z11DWM SHI4 50SCCM
SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]
質量流量控製器 SEC-N112MGM N2 300SCCM B-14W3 9P 3
SEC-Z719JX [ 堀場 STEC ]
質量流量控製器 SEC-Z719JX SICL4 100SCCM BLK-C 9P
SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]
控製器TRIAS EX2 MFC11 NH3 1SLM
GP-Z104-C [ 堀場 STEC ]
新18luck GP-Z104 0.1TORR
堀場STEC流量計/A5003641C N112N122MGM 4CRL/C4F8 200SCCM
mks真空壓力計141A-24713 1-100Torr***美麗(li) 價(jia) 格
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1179A11CR1BV--S [ MKS ]
質量流量控製器 1179A11CR1BV-S HE 10SCCM VCR 15P
1179A00423CR1BV [ MKS ]
質量流量控製器 1179A00423CR1BV AR 2SLM VCR 15P
649A-25262 [ MKS ]
質量流量控製器 649A-25262 N2 5SLM
1479A22CR1BM-S [ MKS ]
質量流量控製器 1479A22CR1BM-S, 200SCCM AR VCR D-SUB , , 淨尺寸和重量 , 145*130*40mm / 1kg
near/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新
延長了使用壽命
加熱元件的發熱越有效,需要對它們(men) 進行的加熱就越少。Plansee 研發了一種能夠熱輸出的塗層工藝。
鎢基層具有高孔隙率的
鉬(熔點:2620°C)和鎢(熔點:3420°C)均是難熔金屬,高熔點使它們(men) 非常適合用於(yu) 諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
耐腐蝕:
鉬和鎢在各種環境中都具有耐腐蝕性,甚至在溫度下也是如此:
鉬 | 氨氣 |
在操作過程中,反應室部件中的雜質也可能汙染半導體(ti) 。要保證半導體(ti) 的質量和 LED 或晶體(ti) 管的效率,我們(men) 的材料必須無雜質。我們(men) 保證材料純度高於(yu) 99.97%。
蒸氣壓低: