提供NIKON備件（包含易耗件）

1，常用的馬達

*ulhaber minimotor的173：1，30.7：1，41：1等

stage
motor（YASKAWA motor）

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用於(yu) wafer
loader，wafer stage各部位控製馬達

2，常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3，鹵素燈

鹵素燈包括NIKON和USHIO

4，LSA
HE-NE激光管，激光幹涉計interferometer

5，NIKON其它各類備件，如電路板等

6，NIKON電路板維修（以壞換好）等

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萊寶COOLVAC低溫泵的工作範圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬於(yu) 氣體(ti) 捕集泵。工作原理是將氣態物質通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nei) 冷表麵。為(wei) 了能夠獲得高真空或超高真空，冷表麵（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻係統的類型可以分為(wei) 製冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發器低溫泵。

萊寶公司生產(chan) 用製冷機冷卻低溫泵。

客戶得益

低溫泵的優(you) 勢：

- 所有氣體(ti) 都有高抽速

- 對水汽有的抽速

對於(yu) 相同直徑的高真空法蘭(lan) ，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(you) 勢2：

與(yu) 氣體(ti) 傳(chuan) 輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(ce) 沒有任何機械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強範圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(you) 點：

- 與(yu) 其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大於(yu) 1500 l x s-1）

- 僅(jin) 啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控製

- 性價(jia) 比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用

萊寶真空生產(chan) 的低溫泵采用本廠生產(chan) 的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guan) COOLVAC係列低溫泵的設計，請見以下示意圖的內(nei) 容。

一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板（6）。

根據泵的型號和工作條件不同，達到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這裏冷凝。

熱輻射防護屏和障板為(wei) 銅質，它們(men) 能很好地傳(chuan) 遞熱量，從(cong) 而優(you) 化製冷容量。

另外，熱輻射防護屏經過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級冷頭（7）用於(yu) 冷卻冷傘(san) （8）。

根據工作條件，達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這裏低溫冷凝。冷傘(san) 采用高導熱銅材與(yu) 二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘(san) 上麵部分覆蓋活性炭上。

COOLVAC製冷機低溫泵

COOVAC係列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設置，過壓150mbar（113托）時打開。

為(wei) 了保證在安全閥動作時，安全地排出可能影響健康的氣體(ti) ，安全閥另配有一個(ge) DN 40 KF 法蘭(lan) ，上麵可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個(ge) 重要方麵是再生。由於(yu) 低溫泵屬於(yu) 氣體(ti) 捕集泵，所以被抽氣體(ti) 都蓄積在泵內(nei) ，飽和後必須泵排出。

具體(ti) 操作方法是關(guan) 閉壓縮機並加熱低溫區到室溫或略高的溫度，由前級真空泵將釋放的氣體(ti) 排出。

非電控再生係統的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nei) 吹掃幹燥、預熱的惰性氣體(ti) （例如氮氣）加熱低溫區到室溫。此情況下，由於(yu) 低溫泵內(nei) 不可能有確定的和受控製的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。隻有通過幹燥惰性氣體(ti) 的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。

多台低溫泵組合操作

由於(yu) 萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大，可以同時驅動兩(liang) 個(ge) 以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地麵積小

萊寶真空全自動加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nei) 可以達到確定和受控製的溫度分布。這個(ge) 受控製的加溫過程保證了氣體(ti) 被連續排出，也就是按以下順序氣體(ti) 一個(ge) 接一個(ge)

被釋放：

- 吸附在冷傘(san) 上的氣體(ti) （例如氫氣、  氦氣、氖氣）

- 冷凝在冷傘(san) 上的氣體(ti) （例如氮氣、  氧氣、氬氣）