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CTI On Board低溫泵（冷凝泵）具有無油, 對所有氣體(ti) 的抽速都較大, 特別是對水蒸汽、H2 等抽速很大, 適應性強, 製冷機低速運行, 且運動部件很少, 有利於(yu) 長期可靠運行等優(you) 點。因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應用於(yu) IC生產(chan) 工藝中的蒸發、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器件、材料科學、表麵分析儀(yi) 器等領域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。
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