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性能
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大於1010。
泵的極限壓力為10-9Pa，工作壓力範圍為10-1～10-8Pa，為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。
渦輪分子泵必須在分子流狀態（氣體分子的平均自由程遠大於導管截麵尺寸的流態）下工作才能顯示出它的*性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級真空泵。
本身由轉速為10000～60000轉/分的直聯驅動。
特點
抽速大、無油、啟動快、無油汙染、維護簡單
工作範圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空：10-6/ 10-10torr
缺點：結構複雜、對軸承耐磨程度要求高、製造成本高
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