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深圳市 天鉉真空技術有限公司 ALICAT 氣體質量流量計 20係列 量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優於1%的精度，測量範圍廣，優於10 ms響應時間
美國ALICAT 20係列標準型質量流量計，采用內(nei) 部補償(chang) 型層流壓差技術，使得大流量範圍下氣體(ti) 仍舊保持層流運動。內(nei) 置的絕壓和溫度傳(chuan) 感器充分補償(chang) 因壓力和溫度引起的體(ti) 積流量與(yu) 質量流量間的差異，並對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準。Alicat的20係列數字式質量流量計可用於(yu) 快速精確地測量過程氣體(ti) 的質量流量、體(ti) 積流量、壓力和溫度，適用於(yu) 多種流量測控場合。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環境監測 ● 真空行業(ye) 及鍍膜
● 工業(ye) 爐窯 ● 半 導 體(ti)
● 汽車製造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計量校準
● 過程工藝氣體(ti) 測量
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