
722A12TCD2FA MKS新18luck壓力計722A12TCD2FA下载新利体育app
美國MKS新18luck(Vacuum Gauge),c真空表,是測量真空度或氣壓的儀(yi) 器。一般是利用不同氣壓下氣體(ti) 的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(ye) 生產(chan) 中廣泛使用。
按照美國MKS新18luck測量原理所利用的不同的物理機製,可將主要的美國MKS新18luck分為(wei) 三大類,分別是利用力學性能、利用氣體(ti) 動力學效應和利用帶電粒子效應的美國MKS新18luck。
美國MKS流量計型號及功能原理介紹,美國MKS流量計利用力學性能的美國MKS新18luck典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體(ti) 動力學效應的典型美國MKS新18luck有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型美國MKS新18luck有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
波爾登規(Bourdon)
波爾登規
波爾登規
細的銅管受氣體(ti) 壓力不同會(hui) 有舒展現象,會(hui) 帶動杠杆和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量範圍一般在100Pa至1atm。
薄膜電容規
薄膜電容規
薄膜電容規
美國MKS流量計在不同壓力下金屬膜片受力不同會(hui) 有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量範圍一般橫跨4個(ge) 量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優(you) 點是靈敏度很高。缺點是必須在高於(yu) 環境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,使用前一般需要預熱數小時。
皮拉尼電阻規
皮拉尼電阻規
皮拉尼電阻規
也叫做熱電阻美國MKS新18luck,它是利用電阻與(yu) 溫度之間關(guan) 係的原理工作的。
美國MKS流量計由於(yu) 不同氣壓下氣體(ti) 分子熱傳(chuan) 導能力不同,當給熱絲(si) 加恒定的電流時,由於(yu) 氣壓不同通過氣體(ti) 傳(chuan) 導走的熱量不同,熱絲(si) 所保持的溫度就不同,這導致熱絲(si) 電阻大小不同,通過測量熱絲(si) 電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲(si) 電阻的變化,將有效提高測量的準確度。
這種規的測量範圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由於(yu) 不同氣體(ti) 在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規需要在不同的使用氣體(ti) 下標定。
熱電偶規
熱電偶規
熱電偶規
熱電偶規與(yu) 皮拉尼電阻規基本原理一致,隻是它不用測量熱絲(si) 電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量範圍一般與(yu) 在0.1Pa至1000Pa。
與(yu) 皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體(ti) 下標定。
熱陰極電離規
熱陰極電離規
熱陰極電離規
熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲(si) 發射電子,電離真空中的氣體(ti) 分子,產(chan) 生離子,由收集極收集產(chan) 生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體(ti) 分子的密度,進而得到氣壓大小。
這種規的測量範圍一般為(wei) 1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改進後的熱陰極電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由於(yu) 不同氣體(ti) 在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體(ti) 下進行標定。
冷陰極電離規
冷陰極電離規
冷陰極電離規冷陰極電離規也是通過電離氣體(ti) 分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與(yu) 熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體(ti) 分子產(chan) 生離子。
這種規的測量範圍一般為(wei) 1.0E-07Pa至0.1Pa。
美國MKS 主要產(chan) 品:MKS流量計,MKS薄膜新18luck,MKS傳(chuan) 感器,MKS開關(guan) ,MKS壓力傳(chuan) 感器,MKS真空矽,MKS發生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應氣體(ti) 發生器,MKS壓力控製閥。