性能和規格

外形尺寸

應用領域

• 半導體和平板顯示器製造
• LED製造
• 鍍膜設備
• 製冷設備和空調的元件及部件
• 低溫壓力容器
• 閥門氣密性
• 撿漏航空部件，配件及係統

而且，TMP-5305係列具有5300 L/s的高級別氣體(ti) 吞吐和抽氣速度，預計可用於(yu) 下一代450 nmm半導體(ti) 晶圓加工。
島津製作所半導體(ti) 儀(yi) 器事業(ye) 部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們(men) 在磁懸浮TMP領域已經占領了30 %的*。"“島津TMP在的普及反映了我們(men) 為(wei) 滿足不斷變化的行業(ye) 需求而提供的創新設計和技術支持的曆史。"
事實上，島津TMP的原型是為(wei) 了用於(yu) 位於(yu) 神戶的日本快速的超級計算機設計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了建模技術來模擬TMP性能。"“我們(men) 所有的商用TMP係統均在島津內(nei) 部製造完成。通過這種方式，我們(men) 確保了產(chan) 品的質量和性能。"

在需要超高真空的真空工業(ye) 和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴(yan) 格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為(wei) 195毫米，帶有一體(ti) 式控製器，可在空間受限的環境中垂直、倒置或水平安裝。本設備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設備還配備了易用型集成控製麵板，在約280 L/s的抽速下，僅(jin) 以180 W的低功耗工作。

1179A01312CR1BV-K [ MKS ]

質量流量控製器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，範圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P

1479A01353CR1BM [ MKS ]

質量流量控製器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，範圍：5SLM，類型：VCR

649A12T51CAVR-S [ MKS ]

質量流量控製器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL

649A-14943S [ MKS ]

質量流量控製器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013

P8A-26808 [ MKS ]

質量流量控製器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR

DLT2A2231A1P210 [ MKS ]

質量流量控製器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P