
詳情介紹
CDG100A/CDG100A-S薄膜電容式壓力傳感器屬於高精度溫度補償型真空機,在苛刻的生產環境中具有穩定的性能,的數字電子學提高新18luck的性能和易於使用的特點,如一鍵調零功能和設點調整,抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣衝擊的長使用壽命。傳感器屏敝保護新18luck防止過程汙染。堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了EMC兼容性,長期穩定性和溫度補償性。
優 點
◆ 全刻度範圍從100毫乇…1000乇
◆ 電源接通後的快速穩定性
◆ 暴露大氣壓後的快速恢複性
◆ 抗腐蝕性陶瓷傳感監測器
◆ 的長期訊號穩定性
◆ 溫度補償
◆ 保護傳感器防止汙染
◆ 一鍵調零功能
◆ 寬範圍電源
◆ 2個設點(選項)
◆ RS232接口(選項)
用 途
要求高的應用條件下,精確而快速的壓強測量:
◆ 用於刻蝕,CVD, PVD, ALD半導體製造設備
◆ 資料貯存和顯示器製造設備
◆ 工業真空設備
◆ 常用高精度真空測量
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