ALICAT 質量流量控製器11係列-基本型

 

應用及案例

 

● 大學/研究所    ● 環境監測     ● 真空鍍膜    ● 工業(ye) 爐窯    ● 半導體(ti)     ● 汽車製造    ● 光伏    ● 燃料電池     

● 計量    ● 過程工藝氣體(ti) 測量

產(chan) 品特色

 

● 低價(jia) 位產(chan) 品
● 標配模擬控製方式，數字可選
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅(jin) 需100ms(可調)

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性能指標

 

介質要求    非腐蝕性、潔淨、幹燥的氣體(ti)

介質種類    單種氣體(ti) 標定，請參考背麵氣體(ti) 兼容表

量       程    從(cong) 0-10SCCM 到 0-20SLPM（）

量  程  比    200:1

顯示流量：102.4%FS

精    度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程

重複性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ℃ / Atm

預熱時間：<1s

響應時間：100ms(可調)

標定工況：25?C & 100kPa 絕壓

工作溫度：-10 ～ +50℃

工作濕度：0-99%,無冷凝

標準工作壓力：1MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

數字輸入/輸出信號：可選RS-232

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為(wei) 15-30 Vdc)

供電電流：250mA

電氣接口：DB15

材質：302不鏽鋼、Viton、矽膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、

黃銅、 430FR 不鏽鋼、 矽、 玻璃

安裝方式：對位置無要求 

防護等級：IP40

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