Aera FC-7700CD質量流量控製器

美國Aera FC-7700係列質量流量計
優(you) 點：
高性價(jia) 比
響應速度快：小於(yu) 2秒
的可靠性：使用一年以上，零點漂移小於(yu) 滿量程的0.5%
易於(yu) 集成：標準接頭和尺寸
出眾(zhong) 的效果：高品質膜層與(yu) 蝕刻特性

特性
非金屬密封
VCR連接
量程範圍從(cong) 10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許清洗流量：高達校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

FC-7700氣體(ti) 質量流量計的詳細資料：
Adcanced Energy 的Aera FC-7700係列產(chan) 品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產(chan) 品，該流量計采用非金屬密封，流量控製精確，性價(jia) 比高。該產(chan) 品專(zhuan) 為(wei) 從(cong) 業(ye) 於(yu) 半導體(ti) 、平板顯示、數據存儲(chu) 、工業(ye) 真空和工業(ye) 鍍膜市場的工藝和設備工程師設計，同時，該係列產(chan) 品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表麵處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體(ti) 應用領域表現出良好的可靠性和優(you) 異的性能。
性價(jia) 比高：
FC-7700係列產(chan) 品專(zhuan) 為(wei) 那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應用而定製，不僅(jin) 性價(jia) 比好，而且控製精度非常高。
響應速度快：
FC-7700係列產(chan) 品采用設計，工作性能遠遠優(you) 於(yu) 同類質量流量控製器MFC.其之處包括：采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳(chuan) 感器。另外，與(yu) 采用低速熱敏閥的同類產(chan) 品相比，FC-7700係列產(chan) 品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。提高響應速度之後，避免了出現過衝(chong) ，達到設定點的時間不到2秒。
的可靠性:
由高質量的電子組件和采用耐用、最少元器件的設計理念，這使它可以經受強射頻場的幹擾，滿足其它運轉要求，並具有同類產(chan) 品中的零點漂移穩定性--使用超過一年，零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chan) 品中，僅(jin) 有不到0.5%的產(chan) 品在出貨一年內(nei) 返修。
出眾(zhong) 的效果：
FC-7700係列質量流量控製器帶給您的不僅(jin) 僅(jin) 是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時還有高度的可重複性。
型號參數：
類別 FC-7700、7700C、7700CD、7700CU FC-7710、7710C、7710CD、7710CU FC-7720、7720C、7720CD
滿量程範圍 10sccm到5slm 6到20slm 35到150slm、20到50slm
響應時間 到達設定點±2%所需時間<2秒 到達設定點±2%所需時間<3秒
精度 滿量程±1%範圍內(nei) 滿量程±2%範圍內(nei)
線性度 滿量程±0.5%範圍內(nei) 滿量程±0.5%範圍內(nei) 滿量程±1%範圍內(nei)
滿量程±1%範圍內(nei)
重複精度 滿量程±0.2%範圍內(nei)
漏率 值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控製範圍 滿量程的5到99%
壓差 7至40 psi 10至40 psi(517至2069托) 21至40 psi(1086至2069托)
 (362至2069托) 14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力 50 psi(2586托)
入口壓力 值150 psi(7740托)
溫度範圍 5至45℃

注：可根據不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD係列，數字型的FC-D770係列，全金屬密封及數字型的FC-D980係列。