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*供應FC-R7800CD質量流量計
FC-R7800係列不僅(jin) 能提供高精度流量控製。
采用金屬材質密封具備優(you) 異的低泄漏特性，可適用於(yu) 絕大多數氣體(ti) 控製應用。提供行業(ye) 通用和AE*電氣信號可選方案，可方便對用戶使用的質量流量控製器（MFC）進行替換，操作簡單。
特點：
◆高精度
◆高信賴和可靠性
◆耐腐蝕設計
◆采用金屬密封材質
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程範圍
◆方便的互換性
◆高速應答***的統一性，目前世界上有大約7萬(wan) 隻在運行中的產(chan) 品，內(nei) 的返修率不到0.5%,廣受客戶讚譽
◆方便的互換性
技術參數：
| 性能指標 | FC-R7800CD/FC-R7800D係列
| FC-R7810CD/FC-R7810D係列
| FC-R7820CD/FC-R7820D係列
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| 滿量程範圍
| 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** | 35-200Slm |
| 響應時間 | 滿流量的±2%範圍內(nei) ,小於(yu) 2秒 | 滿流量的±2%範圍內(nei) ,小於(yu) 3秒 | |
| 精度 | ≤±1%滿量程 | ≤±2%滿量程 | |
| 線性鍍 | ≤滿量程±0 5% | ≤滿量程±0 5% ＃1 | ≤滿量程±1% |
| 重複性 | ≤滿量程±0.2% | ||
| 泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ?/sec | ||
| 控製範圍 | 滿流量的2%-5% #2 | ||
| 壓差 | 49Kpa-275Kpa
| 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa
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| 正常工作壓 力 | 490Kpa
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| 進氣壓力 | 980Kpa
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| 溫度範圍
| 5-45℃(41-113℉)
| ||
| 輸入電源
| +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA | +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA | |
| 功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
| 輸入信號 | 0-5 VDC | ||
| 輸出型號 | 0-5 VDC | ||
| 控製閥形式 | 常開或常閉電磁閥 | ||
| 密封件 | 金屬密封 | ||
| 材質 | 316L，316，PTFE，不鏽鋼（氟橡膠，氯丁橡膠） | ||
| 標準接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
| 重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
＃1滿量程流量值大於(yu) 30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大於(yu) 150SLM控製範圍為(wei) 5%-***
＃3滿量程流量值大於(yu) 150SLM壓差範圍為(wei) 147-296Kpa
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