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MKS質量流量控製器
簡要描述:1150C/1152C加熱型壓力式質量流量計控製器模擬型;流量範圍:1-1000sccm;精度:5
1150C/1152C加熱型壓力式質量流量計控製器
模擬型;
流量範圍:1-1000 sccm;
精度:±5.0% of F.S.
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