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MKS質量流量控製器
簡要描述:1480A_數字金屬密封質量流量控製器數字式;流量範圍:10-30000sccm;進氣壓力:150psig;考驗壓力:1000psig;精度:1%ofSetpointfor20to99%F
1480A_數字金屬密封質量流量控製器
數字式;
流量範圍:10-30000 sccm;
進氣壓力:150 psig;
考驗壓力:1000 psig;
精度:±1% of Setpoint for 20 to 99% F.S.;0.2% of F.S. for <20% of Reading;
閥門類型:
閥門常開;
閥門常閉
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