MKS GE50A流量計

GE50A質量流量控製器

GE50A是一種通用型彈性密封的質量流量控製器，可在多種應用場合測量和控製氣體(ti) 的流量，特別是可重複性要求高的場合。配上合適的壓力控製器，它還可以作為(wei) 壓力控製器使用。

對於(yu) 當今市場上的質量流量控製器，GE50A可作為(wei) 直接替代的產(chan) 品，標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體(ti) 管道。它具有數字和模擬兩(liang) 種模式，其精度為(wei) 全量程的1%。

技術參數：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

控製量程：2% to 99%的全量程。

測量精度：全量程的1%

靈敏度：全量程的0.1%

熱機時間：小於(yu) 2Min.

響應速度：小於(yu) 2Sec.

輸入電壓：±15VDC@100ma

輸出電壓：0-5VDC

連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數字：RS485或Device net或Profibus

法蘭(lan) 接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4"等

材質：316不鏽鋼。

質保期：有限保修自售出之日起12個(ge) 月。